太陽電池用ウエーハ洗浄薬液とウェットエッチング用薬液：地球環境に優しい単結晶シリコン用IPA freeプロセスの提案

摘要

しかし、HFやイソプロピルアルコール(IPA)は、自然界に排出されると環境に大きな影響を与える汚染物質であるため、これらを処理するには多大な時間と貴重なエネルギー資源を大量に投入しなければならない。このように、環境に配慮した製品である太陽電池を生産するために、環境に多大な負荷を与えるプロセスを適用することは全く意味がないので、環境に影響を与えないEnvironmental Friendlyな製造プロセスの開発が急務となる。当社では、「化学薬品によるエネルギー問題及び環境問題への対応」をメインコンセプトとして太陽電池の生産プロセスの改善や高効率化に関する研究開発を進めてきた。その結果、これまでにIPA freeの単結晶シリコン基板用エッチング液（SUN-Xシリーズ）や薄膜太陽電池用ガラス基板の洗浄用薬液（NCWシリーズ）を開発することができ、これらの薬液を纏めて「太陽電池用薬液」としてリストアップしている。本稿では、この中からSUN-Xシリーズのエッチング液としてより微細なサイズのテクスチャーが形成できる"SUN-X 600"とエッチング前に適用するウエーハ洗浄の必要性とその薬液"NCW-2000"について、その特徴を簡単に紹介したい。