一种抛光液及应用该抛光液对锑化镓晶片进行抛光的方法

摘要

本发明公开了一种抛光液及应用该抛光液对锑化镓进行抛光的方法，本发明的抛光液对锑化镓材料抛光去除速率高，抛光后晶片表面光洁平坦，并且无崩边掉渣，且本发明的抛光工艺方法简单，人为控制因素较少，可用率大大提高，有利于降低成本。