软脆碲锌镉晶片新型绿色环保抛光液化学机械抛光研究

摘要

针对传统游离磨料-抛光-化学机械抛光软脆碲锌镉晶片的缺点,提出固结磨料研磨与新型绿色环保抛光液化学机械抛光软脆碲锌镉晶片的新方法.固结磨科研磨工艺为:采用#3000刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫转速均为80rpm,研磨时间为5min.新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶,采用天然桔子汁作为pH调节剂.化学机械抛光工艺为:采用自行研制的化学机械抛光液,绒毛抛光垫,抛光压力为28kPa,抛光盘与抛光垫转速均为60rpm,抛光时间为30min.实验结果表面可获得超光滑的化学机械抛光表面,表面粗糙度Ra、rms、PV值可以达到0.568nm、0.724nm、 6.061nm.