公开/公告号CN106783803B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉新芯集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN201611082385.6
申请日2016-11-30
分类号
代理机构北京轻创知识产权代理有限公司;
代理人杨立
地址 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
入库时间 2022-08-23 10:24:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-25
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/544 申请日:20161130
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/544 申请日:20161130
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
机译: 光刻标记结构,包括这种光刻标记结构的光刻投影设备以及使用这种光刻标记结构进行基板对准的方法
机译: 光刻标记结构,包括这种光刻标记结构的光刻投影设备以及使用这种光刻标记结构进行基板对准的方法
机译: 光刻标记结构,包括这种光刻标记结构的光刻投影设备以及使用这种光刻标记结构进行基板对准的方法