公开/公告号CN102445865A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201110349890.3
发明设计人 马兰涛;
申请日2011-11-08
分类号G03F9/00;G03F7/20;
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人王敏杰
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2023-12-18 04:59:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-10
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F9/00 申请公布日:20120509 申请日:20111108
发明专利申请公布后的驳回
2012-10-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20111108
实质审查的生效
2012-05-09
公开
公开
机译: 信号处理装置及处理方法,对准系统,对准方法及光刻机
机译: 对准标记和使用该对准标记的光刻方法,以消除工艺偏差误差
机译: 对准标记和使用该对准标记的光刻方法,以消除工艺偏差误差