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NSR2205I14型光刻机对准方式分析

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摘要

对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,NSR2205I14E2型光刻机的对准方式包括LSA和FIA,分析LSA与FIA的对准方式原理,比较各自的硬件结构以及对应功能.了解这些知识将对设备维护、降低对准报错率,提高套刻精度等有着重要帮助.

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来源
《设备管理与维修》 |2018年第11期|99-100|共2页
作者
宛文峰;
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作者单位

新型功率半导体器件国家重点实验室,湖南株洲 412001;

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正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光刻机; 对准系统; 对准方式;

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