一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统

摘要

本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试单元设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准单元设置于在线测试单元与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试单元。本发明的系统可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。