在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置

摘要

本实用新型公开了一种在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准仪和辐照能量在线测试仪，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试仪设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准仪设置于在线测试仪与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试仪。本实用新型的测试装置可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。