公开/公告号CN106061124B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 丰田自动车株式会社;
申请/专利号CN201610195708.6
申请日2016-03-31
分类号H05K3/07(20060101);H05K3/06(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人贺月娇;杨晓光
地址 日本爱知县
入库时间 2022-08-23 10:22:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
授权
授权
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H05K3/07 申请日:20160331
实质审查的生效
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H05K 3/07 申请日:20160331
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 一种用于形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻装置
机译: 形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻设备
机译: 形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻处理设备