vacuum ultraviolet light; etching; microfabrication; nanofabrication; patterning; room temperature and pressure;
机译:通过真空紫外光进行光学蚀刻以塑料上的微观结构
机译:真空紫外光刻和氢氟酸刻蚀处理制备高密度铜微结构
机译:使用通过真空紫外光刻技术制备的微结构化有机硅烷层模板进行单元构图
机译:真空紫外线中的半导体的光诱导干蚀刻
机译:真空-紫外线辐射对等离子体介电的图案化介电材料的影响
机译:基于快速转移的微图案化和丝微观结构的干蚀刻
机译:少模和单模微结构聚合物光纤中的连续波紫外线诱导光纤布拉格光栅
机译:层状合成微结构在真空紫外和软X射线光栅光谱仪中的应用