法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/00 授权公告日:20070404 终止日期:20170416 申请日:20040416
专利权的终止
2007-04-04
授权
授权
2007-04-04
授权
授权
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-01-12
公开
公开
2005-01-12
公开
公开
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机译: 灰度掩模的制造方法,灰度掩模,微光学元件的制造方法,微光学元件和曝光装置
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