掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献检索
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
电子学、通信
>
Micromachining and microfabrication process technology XIX
Micromachining and microfabrication process technology XIX
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关中文期刊
视听纵横
电子电路与贴装
信息化建设
通信管理与技术
数字技术与应用
中国有线电视
电子器件
通信世界B
电源技术学报
微细加工技术
更多>>
相关外文期刊
International Journal of Satellite Communications
International journal of interdisciplinary telecommunications and networking
IEICE Transactions on Information and Systems
Journal of the National Institute of Information and Communications Technology
Mobile Europe
IEE Proceedings. Part J
Satellite Evolution Asia
Tele Kommunikation Aktuell
Information Security, IET
The Journal of Microwave Power & Electromangnetic Energy
更多>>
相关中文会议
北京国际电视技术研讨会
2012毫米波亚毫米波会议
全国第一届压电和声波理论及器件技术研讨会
2004中国手机制造技术研讨会
2000年中国卫星广播电视技术高级研讨会
武汉市第二届学术年会通信学会2006年学术年会
2014四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会
第四届全国青年印制电路学术年会
中国电子学会电路与系统学会第十九届年会
2012中国平板显示学术会议
更多>>
相关外文会议
2010 IEEE International Conference on Acoustics Speech and Signal Processing
International Computer Congress on Wavelet Analysis and Its Applications, and Active Media Technology vol.2; 200405; Chongqing(CN)
2010 IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symposium (RFIC)
SEMICON China 2002 Technical Symposium: Technical Programs for the Semiconductor Equipment and Materials Industries Mar 26-27, 2002 Shanghai, China
2019 IEEE International Conference on Computational Photography
Nonlinear Optical Properties of Advanced Materials
1st International Symposium on Cold Cathodes, 1st, Oct 25-26, 2000, in Phoenix, Arizona
Sino-German Joint Symposium on Optical Communication Network; 20040324-30; Beijing(CN)
Cryptographers' Track at the RSA Conference 2006; 20060213-17; San Jose,CA(US)
Conference on design for manufacturability through design-process integration III; 20090226-27; San Jose, CA(US)
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
Fabrication of microelectromechanical systems (MEMS) cantilevers for photoacoustic (PA) detection of terahertz (THz) radiation
机译:
微机电系统(MEMS)悬臂的制造,用于太赫兹(THz)辐射的光声(PA)检测
作者:
R. Newberry
;
N. Glauvitz
;
R. Coutu Jr.
;
I.R. Medvedev
;
D. Petkie
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
Cantilever;
Photoacoustic;
Terahertz Sensor;
2.
Thin Film Fabrication and System Integration Test Run for a Microactuator for a Tuneable Lens
机译:
用于可调透镜的微致动器的薄膜制造和系统集成测试运行
作者:
Dominik Hoheisel
;
Lutz Rissing
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
electromagnetic microactuator;
combination of electromagnetic and electrostatic actuation;
tuneable lens;
integrated electrostatic air gap measurement;
polyimide membrane;
Ni-Fe foil;
water solveable polymer;
3.
Deep Silicon Etching: Current Capabilities Future Directions
机译:
深硅蚀刻:当前的能力和未来的方向
作者:
Russ Westerman
;
Linnell Martinez
;
David Pays-Volard
;
Ken Mackenzie
;
Thierry Lazerand
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
deep silicon etching;
DRIE;
HAR;
ARDE;
MEMS;
Through Silicon Via;
plasma dicing;
packaging;
4.
Periodic nanostructures fabricated by Talbot extreme ultraviolet lithography
机译:
Talbot极紫外光刻技术制备的周期性纳米结构
作者:
W. Li
;
D. Patel
;
C.S. Menoni
;
A. Stein
;
W. Chao
;
E. Anderson
;
M.C. Marconi
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Extreme ultraviolet;
laser;
nanostructures;
Talbot;
table top;
5.
Residual stress control during the growth and release process in gold suspended microstructures
机译:
金悬浮微结构在生长和释放过程中的残余应力控制
作者:
Akshdeep Sharma
;
Deepak Bansal
;
Amit Kumar
;
Dinesh Kumar
;
Kamaljit Rangra
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
RF MEMS;
Plasma ashing;
Critical Point Dryer (CPD);
Electroplating;
Microstructure;
Deformation;
6.
Microfabrication of passive electronic components with printed graphene-oxide deposition
机译:
具有印刷氧化石墨烯沉积的无源电子元件的微细加工
作者:
Dogan Sinar
;
George K. Knopf
;
Suwas Nikumb
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Flexible electronics;
inkjet printing;
graphene-oxide synthesis;
laser assisted thermal reduction;
passive electronics;
microelectrodes;
7.
Fabrication technology to increase surface area of ionomer membrane material and its application towards high surface area electric double layer capacitors
机译:
增加离聚物膜材料表面积的制造技术及其在高表面积双电层电容器中的应用
作者:
Alberto Andre Chang
;
Jasbir N. Patel
;
Cristina Cordoba
;
Bozena Kaminska
;
Karen Kavanagh
会议名称:
《》
|
2014年
关键词:
microfabrication;
embossing;
membrane;
ionomer;
commercial;
surface area;
stamping;
capacitor;
8.
Laser assisted and hermetic room temperature bonding, based on direct bonding technology
机译:
基于直接粘合技术的激光辅助密封室温粘合
作者:
Jeroen Haneveld
;
Peter Tijssen
;
Johannes Oonk
;
Mark Olde Riekerink
;
Hildebrand Tigelaar
;
Ronny van t Oever
;
Marko Blom
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Microfluidics;
MEMS;
BioMEMS;
Medical Microsystems;
Bonding;
Laser;
Wafer Level Packaging;
9.
Design and Fabrication of Sub-wavelength Annular Apertures on Fiber Tip for Femtosecond Laser Machining
机译:
飞秒激光加工光纤尖端亚波长环形孔径的设计与制作
作者:
Yen-Chun Tung
;
Ming-Han Chung
;
I-Hui Sung
;
Chih-Kung Lee
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
depth of focus;
diffraction limit;
femtosecond laser;
Bessel light beam;
Sub-wavelength annular apertures;
Micromachining;
High aspect ratio;
10.
DESIGN AND FABRICATION OF 3-AXIS ACCELEROMETER SENSOR MICROSYSTEM FOR WIDE TEMPERATURE RANGE APPLICATIONS USING SEMI-CUSTOM PROCESS
机译:
半定制过程的3轴加速度计传感器微系统在宽温度范围应用中的设计与制造
作者:
A. Merdassi
;
Y. Wang
;
G. Xereas
;
V. P. Chodavarapu
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Capacitive accelerometers;
POLYMUMPS;
CMOS capacitance readout circuit;
Silicon Carbide;
RF sputtering deposition;
11.
Resonator structures on AlN ceramics surface treated by laser radiation
机译:
激光辐射处理的AlN陶瓷表面的谐振器结构
作者:
Pawel E. Koziol
;
Arkadiusz J. Antonczak
;
Bogusz Stepak
;
Przemyslaw A. Gorski
;
Michal Walczakowski
;
Norbert Palka
;
Krzysztof M. Abramski
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
laser micromachining;
metallization;
metamaterials;
ceramics;
spiral resonator;
split ring resonator;
12.
Compliant MEMS Mechanism to extend resolution in Fourier Transform Spectroscopy
机译:
兼容的MEMS机制可扩展傅里叶变换光谱学中的分辨率
作者:
A. Sauceda-Carvajal
;
H. D. Kennedy-Cabrera
;
J. Hernandez-Torres
;
A- L- Herrera-May
;
Jose Mireles Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS mechanical Amplifier;
Compliant Amplifier Mechanism;
Micro Fourier Transform Spectroscopy;
13.
Isolating the negative stiffness region of a buckled Si/SiO2 membrane
机译:
隔离弯曲的Si / SiO2膜的负刚度区域
作者:
Kyle K. Ziegler
;
Robert A. Lake
;
Ronald A Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
Buckling;
Negative spring constant;
Membrane deflection;
14.
Calibrating bimetallic grayscale photomasks to photoresist response for precise micro-optics fabrication
机译:
校准双金属灰度光掩模以响应光致抗蚀剂,以实现精确的微光学制造
作者:
Glenn H. Chapman
;
Reza Qarehbaghi
;
Santiago Roche
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Grayscale photomask;
Bimetallic thin-film;
laser grayscale mask writing;
256 gray-level photomask;
grayscale mask matching photoresist;
calibrating grayscale photomasks;
15.
Chemical mechanical polishing of boron-doped polycrystalline silicon
机译:
掺硼多晶硅的化学机械抛光
作者:
Hamidreza Pirayesh
;
Kenneth Cadien
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
16.
A novel process for the fabrication of microstructures half the listed minimum feature size of a direct-write laser lithography system
机译:
一种制造微结构的新颖工艺,其尺寸仅为直写激光光刻系统列出的最小特征尺寸的一半
作者:
Robert A. Lake
;
Ronald A. Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS;
direct write;
laser lithography;
maskless photolithography;
17.
Fabrication of 3D surface structures using gray-scale lithography
机译:
使用灰度光刻制作3D表面结构
作者:
Christopher Stilson
;
Rajan Pal
;
Ronald Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Grayscale;
Direct Write;
RIE;
Micro-contacts;
18.
Phase Change Materials (PCM) fabricated in vertical structures for reconfigurable and tunable circuits
机译:
以垂直结构制造的相变材料(PCM),用于可重构和可调电路
作者:
Eduardo Barajas
;
Ronald A. Coutu Jr.
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
phase change materials;
sputtering;
GeTe;
GST;
19.
Optimal microelectromechanical systems (MEMS) device for achieving high pyroelectric response of AlN
机译:
用于实现AlN高热电响应的最佳微机电系统(MEMS)装置
作者:
Bemnnet Kebede
;
Ronald A. Coutu Jr.
;
LaVern Starman
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Pyroelectricity;
aluminum nitride;
AlN;
MEMS;
20.
Laser micromachining of oxygen reduced graphene-oxide films
机译:
氧还原氧化石墨烯薄膜的激光微加工
作者:
Dogan Sinar
;
George K. Knopf
;
Suwas Nikumb
;
Anatoly Andrushchenko
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Graphene-oxide ink;
laser assisted thermal reduction;
laser ablation;
laser micromachining;
21.
Design of active temperature compensated composite free-free beam MEMS resonators in a standard process
机译:
有源温度补偿复合自由束MEMS谐振器的标准工艺设计
作者:
George Xereas
;
Vamsy P. Chodavarapu
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
MEMS resonators;
temperature compensation;
active compensation;
PolyMUMPs;
Free-Free beam resonators;
22.
Facile fabrication of nanogap electrodes for suspended graphene characterization using direct ion beam patterning
机译:
使用直接离子束构图轻松制造用于悬浮石墨烯表征的纳米间隙电极
作者:
Zhengqing John Qi
;
A. T. Charlie Johnson
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
23.
Annular Heating of Optical Fiber with a CO_2 Laser using Reflective Axicon Elements
机译:
使用反射式Axicon元件用CO_2激光器对光纤进行环形加热
作者:
William Klimowych
会议名称:
《Micromachining and microfabrication process technology XIX》
|
2014年
关键词:
Axicon;
Zone heating;
Quasi Laguerre Gaussian beam;
Conical and cylindrical beam structures;
Fiber laser combiners;
End caps;
Tapering;
Ball lensing;
Splicing;
意见反馈
回到顶部
回到首页