一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法

摘要

本发明涉及一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法，所述方法包括步骤A：获取上游机台晶圆组的信息、炉管机台晶圆组的信息以及炉管机台信息；步骤B：根据步骤A中的所述信息计算所述上游机台晶圆组的炉管预批量处理值和所述炉管机台晶圆组的炉管预批量处理值；步骤C：根据所述预批量处理值，对所述上游机台和炉管机台进行排货和派货。本发明的优点在于：(1)设计者(Planner)和监控者(supervisor)可实时维护和监控机台以及Lots信息，保证数据的实时性和准确性。(2)上游的机台可以根据下游的炉管机台的实际需求，及时准确的生产，既保证了上游机台的利用率和产量，又满足了下游机台的需求。实现了整个上下游机台利用率的最大化。