公开/公告号CN104040428B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-13
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本印刷株式会社;
申请/专利号CN201380004907.9
申请日2013-02-15
分类号G03F1/34(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人海坤
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 10:20:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-13
授权
授权
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/34 申请日:20130215
实质审查的生效
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/34 申请日:20130215
实质审查的生效
2014-09-10
公开
公开
2014-09-10
公开
公开
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