一种并联式压电微型泵

摘要

一种并联式压电微型泵，包括盖体、与盖体固定配合并与之形成泵腔的壳体、及位于泵腔内的泵芯组件，泵芯组件包括：固定在盖体上的第一支座、固定在壳体上的第二支座、安装在第一支座上的第一弹性密封圈、安装在第二支座上的第二弹性密封圈、边缘周围预压在第一弹性密封圈上并抵顶盖体的第一压电振子、边缘周围预压在第二弹性密封圈上并抵顶壳体的第二压电振子、及安装在第一支座和第二支座上的入口阀和出口阀；所述并联式压电微型泵具有第一可变腔体和第二可变腔体，所述第一可变腔体和第二可变腔体通过入口阀容纳介质并通过出口阀排出介质。本发明的并联式压电微型泵结构紧凑小巧、流量大、噪音低，可以实现工业化生产，具有很高的实用价值。