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往复式压电微型泵的研究进展

         

摘要

介绍往复式压电微泵20多年的发展概况.给出了往复式压电微泵的各种不同结构、主要性能参数、工作原理、材料和加工技术,为压电微泵的设计和加工提供参考,也提出目前存在的问题、研究的方向及应用前景.

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