ピエゾマイクロポンプ：ピエゾ素子を用いたダイアフラム式マイクロポンプ

摘要

当社の主力アクチュエーターは電磁バルブの駆動源として用いられているソレノイドであるが、それよりはるかに小型で効率の良いピエゾ素子を使い、小型·薄型·軽量·低騒音·低消費電力を特長とするピエゾマイクロポンプ（第1図）を開発、販売している。このマイクロポンプを使うことで、可搬性や静音性、バッテリー駆動が要求される小型装置で微小流体を制御することが可能になる。本稿ではマイクロポンプの製品群を紹介して、その応用分野について述べるとともに、今後の展開について説明する。