压电致动微型泵

摘要

该文介绍了一种压电致动微型泵的设计、加工和测试。该泵泵膜厚度为11μm，泵腔圆形，直径5mm，深0.4mm。使用的单晶硅微型阀阀片1.5mm×1.0mm×7.4μm，阀口200μm×200μm，在10kPa压差下过流能力大于10ml/min，正向开启压力大小200Pa，几乎没有反向泄漏。采用双层压电梁致动，在100V方波信号驱动下，25Hz时有最大流量，为365μl/min，最在背压为2.38kPa，流量控制精度优于1μl。