压电微型泵的制造新工艺

刘收; 姚立强; 姜兴刚; 王益红; 陈志同

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在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺;采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术.这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期,降低了成本,提高了微泵综合性能.

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来源
《新技术新工艺》|2004年第7期|19-21|共3页
作者
刘收; 姚立强; 姜兴刚; 王益红; 陈志同;
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作者单位

北京航空航天大学,100083;

北京航空航天大学,100083;

北京航空航天大学,100083;

北京航空航天大学,100083;

北京航空航天大学,100083;

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正文语种 chi
中图分类 TH3∶TH706;
关键词
覆膜技术; 固体胶膜键合工艺; 微型泵;

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