具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片及其制造方法

摘要

本发明公开了具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片及其制造方法，MEMS芯片的侧面由垂直于底板下表面的垂直部分和圆弧形棱边组成，所述的圆弧形棱边由下圆角、侧壁、上圆角和顶部构成，所述的圆弧形棱边表面呈波浪形，且布满凹坑。本发明的制造方法在不增加额外工艺流程的前提下，制作完成底板圆片的同时在背面形成凹槽，后续圆片切割时沿凹槽切割即可形成圆弧形棱边以及粗糙的棱边表面，以防止圆片切割或后续封装工序中产生损伤，引起MEMS芯片可靠性差的问题。