首页> 中国专利> 接合卡盘、接合方法及包括接合卡盘的工具

接合卡盘、接合方法及包括接合卡盘的工具

摘要

讨论了一种接合卡盘与使用该接合卡盘的方法及包括该接合卡盘的工具。一种方法包括:在第一接合卡盘的第一表面上加载第一晶圆;在第二接合卡盘上加载第二晶圆;以及将第一晶圆接合至第二晶圆。至少部分地通过第一球面的第一部分和第二球面的第二部分来限定第一表面。第一球面具有第一半径,并且第二球面具有第二半径。第一半径小于第二半径。本发明涉及接合卡盘、接合方法及包括接合卡盘的工具。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-31

    授权

    授权

  • 2016-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/603 申请日:20150727

    实质审查的生效

  • 2016-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/603 申请日:20150727

    实质审查的生效

  • 2016-07-20

    公开

    公开

  • 2016-07-20

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号