超声波接合用工具、超声波接合用工具的制造方法、超声波接合方法及超声波接合装置

摘要

本发明的目的在于提供即使对于玻璃基板等板厚小于等于2mm的薄膜基体、也能顺利地将引线接合在其表面上的超声波接合用工具。而且，在本发明中，超声波接合装置所使用的超声波接合用工具(1)的尖端部分(1c)的表面部分包括：相互分离而形成的多个平面部(10)；以及形成于多个平面部之间的多个凹部(11)，多个平面部(10)分别具有小于等于2μm的平面度。