在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法

摘要

在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法，涉及纳米材料的制备。提供一种工艺简单、成本低、无毒、沉积速率快、纯度高、无需添加催化剂的在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法。1)将衬底清洗，去除表面污染物；2)将清洗后的衬底放入盛有锌粉的刚玉舟里，然后放入化学气相沉积炉内中央温度区并开始抽真空；3)待化学气相沉积炉内的真空度达到8.6mbar时，开始升温，对于三温区化学气相沉积炉，炉两侧温度分别升到250℃，中心区温度升到650℃；再通入氧气和氩气的混气气体；4)待步骤3)完成以后，系统进行降温，即可得到均匀的氧化锌纳米结构。