一种通孔上MTM反熔丝单元结构的制备方法

摘要

本发明涉及一种通孔上MTM反熔丝单元结构的制备方法，该制备方法是在反熔丝通孔与金属间介质层接触的台阶处增加了反熔丝Spacer，降低了台阶角度，减小了反熔丝介质层厚度的不一致性，提高反熔丝击穿电压的一致性和电路良率，同时能够降低反熔丝上下电极之间反熔丝介质层的有效面积，从而降低MTM反熔丝单元的漏电流。