法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-10
授权
授权
2016-02-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P21/00 申请日:20151014
实质审查的生效
2016-01-20
公开
公开
机译: 电容式加速度计设备和晶圆级真空囊化方法
机译: 晶圆级透镜阵列的形成方法,形成类型,晶圆级透镜阵列以及具有该晶圆级透镜阵列的晶圆级透镜阵列
机译: 用于气相薄膜生长的腔室晶圆载体中的第四级晶圆负载结构,以及用于相同尺寸的四级晶圆载体的第二级晶圆载体,能够制造具有良好泄漏电流阻塞特性的激光二极管