晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估装置

摘要

本发明涉及一种晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估装置，其包括电荷放大单元、检波电路单元、低通滤波单元、PID控制单元、求和放大单元、正反向两路放大器。电荷放大单元通过探针卡与单支点电容式加速度计相连接。检波电路单元与电荷放大单元相连接。低通滤波单元与电荷放大单元相连接。PID控制单元与低通滤波单元相连接。求和放大单元与PID控制单元相连接，输出端与低频频谱分析仪相连接。正反向两路放大器与求和放大单元相连接，两个输出端分别与单支点电容式加速度计的支点两侧的极板相连接。本发明快捷便利，只要变动电路中的参数即可实现对单支点电容式加速度计的性能参数的调节和评估，可靠性高，适应生产和工程化过程中的需求。