使用分步重复方式的压印技术的结构体的制造方法

摘要

本发明提供能将转印于树脂层的微细图案的形状稳定性的影响降低到最小限度，同时可抑制掩模内固化侵蚀的结构体的制造方法。本发明提供一种结构体的制造方法，具备如下工序：层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模被覆所述层叠体；固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；以及重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部分，将所述被覆工序和所述固化工序重复进行1次以上。