...
机译:适用于晶圆级相机应用的高精度UV-纳米压印光刻分步重复主印章制造
EVGroup, DI Erich Thallner Strasse 1, 4782 St. Florian, Austria;
EVGroup, DI Erich Thallner Strasse 1, 4782 St. Florian, Austria;
EVGroup, Inc., 7700 South River Parkway, Tempe, Arizona 85284;
EVGroup, DI Erich Thallner Strasse 1, 4782 St. Florian, Austria;
EVGroup, DI Erich Thallner Strasse 1, 4782 St. Florian, Austria;
机译:使用逐元素图案化印章的分步重复UV纳米压印光刻工艺
机译:大面积UV-纳米压印平版印刷图章的修改和制作
机译:紫外纳米压印软模在单频二极管激光器制造中的应用
机译:用于制造激光二极管的软压印UV-纳米压印光刻
机译:预测由于光学和EUV光刻制造工艺的相互作用而导致的器件晶圆上的覆盖错误
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:基于大面积印记的紫外纳米压印光刻中衬底变形的影响
机译:使用分步重复光刻系统制造硅条检测器