通过在HK HfO之前沉积Ti覆盖层改善RRAM的数据保持

摘要

本发明涉及一种阻变式随机存取存储器(RRAM)器件结构，其中，在沉积HK HfO电阻转换层之前沉积Ti金属覆盖层。这里，覆盖层位于HK HfO层的下方，从而不会在RRAM顶电极蚀刻期间造成损伤。覆盖层的外侧壁与HfO层的侧壁基本对齐，从而在将来的蚀刻步骤中可能发生的任何损伤将会发生在远离HK HfO层中的氧空位细丝(导电细丝)的覆盖层的外侧壁处。因此，本发明中的这种结构改善了数据保持。本发明公开了通过在HK HfO之前沉积Ti覆盖层改善RRAM的数据保持。