一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具

摘要

本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具。其包括支撑结构和调节结构；支撑结构由支脚、支脚平衡板、第一托起板、底部支撑台、第二托起板、顶部支撑台构成；调节结构由调节把手、滚珠轴承、调节卡垫、调节轴、调节齿轮、从动齿轮、转台轴、转台、连接螺柱、牵引脚、支撑螺柱、支撑柱、支撑球构成。通过转动调节把手，调节齿轮带动从动齿轮旋转，从而使转台旋转；转台驱动牵引脚旋转偏移，从而带动支撑柱沿着顶部支撑台的凹槽向里或向外移动。本发明可满足对不同尺寸磨削晶圆翘曲测量时的支撑与定位，配合晶圆翘曲设备可对不同尺寸磨削晶圆翘曲进行快速测量。本发明结构简单，操作方便，安全可靠。