公开/公告号CN105632859B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-30
原文格式PDF
申请/专利权人 欧瑞康梅塔普拉斯有限责任公司;
申请/专利号CN201510805806.2
发明设计人 J.维特;
申请日2008-03-11
分类号H01J37/305(20060101);H01J37/32(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人梁冰;宣力伟
地址 德国贝吉施-格拉德巴赫
入库时间 2022-08-23 10:08:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-30
授权
授权
2016-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/305 申请日:20080311
实质审查的生效
2016-06-01
公开
公开
机译: 真空电弧蒸发源以及具有真空电弧蒸发源的真空电弧蒸发室
机译: 真空电弧蒸发源以及具有真空电弧蒸发源的真空电弧蒸发室
机译: 真空电弧蒸发源,以及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室