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用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源

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来源
《第四届电子束离子束学术年会第二届电子束焊接学术年会》|1991年|91-94|共4页
会议地点桂林
作者
吴振华;
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作者单位

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会议组织
正文语种
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中图分类结构和元部件;
关键词
离子镀;

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