Coaxial Evaporation Source Using Vacuum Arc Discharge.

机译：同轴蒸发源使用真空电弧放电。

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作者
Akiyoshi CHAYAHARA; Yoshiaki MOKUNO; Nobuteru TSUBOUCHI; Yuji HORINO; Atsushi KINOMURA; Kanenaga FUJII;
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作者单位

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年度 1997
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