公开/公告号CN101689468A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-03-31
原文格式PDF
申请/专利权人 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司;
申请/专利号CN200880012612.5
发明设计人 J·维特;
申请日2008-03-11
分类号H01J37/32;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人肖日松
地址 德国贝吉施-格拉德巴赫
入库时间 2023-12-17 23:52:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20100331 申请日:20080311
发明专利申请公布后的驳回
2010-05-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20080311
实质审查的生效
2010-03-31
公开
公开
机译: 真空电弧蒸发源,以及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室
机译: 真空电弧蒸发源,以及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室
机译: 带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室