基于耦合腔的单模高速调制法布里‑珀罗半导体激光器

摘要

一种基于耦合腔的单模高速调制法布里一珀罗半导体激光器，包括：一管芯，该管芯为一叠层结构，包括：一下电极；一下接触层，其制作在下电极上；一N型衬底，其制作在下接触层上；在N型衬底上分为两部分，一是为法布里珀罗型微腔，二是为回音壁型微腔，该法布里一珀罗型微腔制作在N型衬底上，其一端与N型衬底的一端齐平，该回音壁型微腔制作在N型衬底上，位于法布里一珀罗型微腔的另一端，该法布里一珀罗型微腔和回音壁型微腔的层叠结构相同。本发明是将高功率的法布里一珀罗微腔与单模高速调制回音壁型微腔相结合，通过调节两腔之间的模式耦合以调节法布里一珀罗微腔的等效反射率，从而实现高功率、单模激射和更好的高速调制特性。