法布里－珀罗装置的精度补偿方法及高精度法布里－珀罗装置

摘要

本发明主要公开一种法布里－珀罗(Fabry－Perot)装置的精细度(finesse)补偿方法，此一法布里－珀罗装置具有彼此平行相对的一第一反射镜(reflector)及一第二反射镜，此一方法包含下列步骤：在该第一反射镜周围正交(orthogonally)配置多个第一致动元件(actuating element)；将该等第一致动元件电连接至多个独立驱动电压(independent drive voltages)；以及控制该等独立驱动电压以驱动该等第一致动元件，进而致动(actuate)该第一反射镜在二旋转自由度(rotation degrees offreedom)上相对于该第二反射镜偏转。