一种碳纳米管增强型超硬薄膜的制造方法

摘要

本发明公开了一种碳纳米管增强型超硬薄膜的制造方法，该方法采用物理气相沉积和化学气相沉积相互结合的方法，分别交替在基体上沉积氮化钛(TiN)薄膜和碳纳米管，在氮化钛(TiN)硬质薄膜中加入与基体表面平行分布的碳纳米管。利用碳纳米管高强度、高韧性的特点，提高复合超硬薄膜的性能，主要体现在对氮化钛(TiN)薄膜硬度和韧性的提高。