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第九届华东三省一市真空学术交流会

召开年：2015
召开地：杭州
出版时间： 2015-05-29

主办单位：安徽省真空学会;浙江省真空学会;江苏省真空学会;上海真空学会

会议文集：第九届华东三省一市真空学术交流会论文集

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1.稀土掺杂二氧化钛在光催化及太阳能电池领域中的应用
- 程云朗
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：二氧化钛作为一种重要的宽禁带半导体材料,在光催化及太阳能电池领域被广泛研究.本研究以P25和CeO2为原料通过水热法制备掺有不同比例的稀土元素铈的纳米二氧化钛粉末.用透射电镜、XRD、紫外可见光谱、X射线光电子能谱、气相色谱仪等手段对样品进行了结构和性能的表征.XRD、TEM的结果表示,退火前样品呈非晶态,退火后的样品主要呈现锐钛矿相,随着掺杂比例的提高出现了氧化铈的晶相,并使得样品晶粒尺寸减小.紫外可见吸收谱的结果表示,随着掺杂量的增加,吸收边有显著的红移,材料的禁带宽度下降,掺杂量为25％时红移最为明显.X射线电子能谱显示,样品中有3价和4价的铈离子存在.光催化结果显示,掺杂0.5％的样品在气相和液相催化中的效率都是最高的.
2.基于AMESim的煤矿水压三用阀建模与分析
- 何涛;王传礼;邓海顺;黄坤;魏本柱;鲍焱
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：为研究水压三用阀的动态特性,建立其数学模型和AMESim模型,着重分析水压三用阀中安全阀结构和性能参数对支护系统升降及压力特性的影响.分析表明:增大安全阀阀芯最大行程和闭死容积及减小阻尼孔直径均能提高阀的动态性能,而等效阻尼影响具有两面性,对系统而言减小阻尼可提高支护性能,对安全阀而言减小阻尼将使阀芯稳定性降低,研究结果对水压三用阀性能优化具有重要意义.
3.原位自生钛基复合材料增强体对相变点的影响及其生长机制
- 孟嘉琳;吕维洁;郭相龙;丁阳;王立强
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：采用真空自耗电弧炉制备了原位自生TiC和TiB增强的钛基复合材料(TMCs).借助XRD和金相显微镜观察材料的物相组成和微观组织,研究了增强体对(α+β/β)相变温度的影响.结果表明,增强体TiB呈短纤维状,对(α+β/β)相变点无明显影响.增强体TiC以溶解-析出方式生长,故呈现两种形态,其中初晶TiC为树枝晶状,共晶TiC为等轴状,并且使相变温度升高40℃.
4.安全无鼠害粮仓(真空气调无鼠害粮仓)
- 孙企达
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：粮食在储存运输中鼠害与虫蛀、霉变损失惊人,成国内国际大问题.同时,目前储粮中采用化学药剂熏蒸,造成化学药剂残留,危害人体健康.在3年前发明的真空保鲜为缸的基础上，采用真空低氧气调高新技术达到无鼠害储存环境(O2<2％)实现无鼠害，再结合低温低湿控制虫蛀霉变，从而取代目前惯用的磷化氢化学熏蒸，确保粮食安全。还可实现粮库防火，整个粮仓用电脑控制，容易管理。
5.新式清洁型不漏油的D系列罗茨真空泵
- 王灵恩
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：D系列罗茨泵，是专为解决传统罗茨泵泵头漏油问题而设计的。参照国外的结构形式，在ZJC及ZJP系列罗茨泵的结构上改进而来，将电机做成密封式电机，具备原有罗茨泵的特点。本泵广泛用于冶金工业中的真空脱气和真空熔炼、钢水真空处理和真空热处理等方面;也广泛用于化工、食品、医药、电机制造等行业。特别需要指出，当它的前级泵采用双级水环泵时，能抽除含有大量水蒸汽的气体，因此它非常适用于蒸馏、蒸发、冷冻、干燥等生产过程。具有静密封持久可靠，不降低真空度，无油封结构，无需轴端润滑，无污染等优点。
6.溅射膜电极与氧化锌基压敏陶瓷的界面机制研究
- 王文婷;陶烨波;王德苗
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：利用溅射法制备半导体陶瓷表面的电极有着广阔的产业化前景,但关于溅射膜电极与陶瓷表面的界面机制研究尚鲜有报道.本文采用磁控溅射法在ZnO压敏陶瓷表面制备了Cr-Cu电极,通过XPS等技术研究分析了Cr/ZnO的界面反应及界面成分.研究结果表明:常温下Cr膜在氧化锌表面的沉积模式为混态生长模式,在Cr的初始沉积阶段,Cr价层电子与氧化锌表面存在电子迁移作用,有氧化态的Cr生成;随着覆盖度的增加,电子转移逐渐减弱,最后Cr完全呈现为金属态的中性吸附.该界面反应生成的化合物对溅射膜电极的欧姆接触,附着力等性能有重要作用,而且能有效阻止电极元素Cu或Ag的纵向扩散.
7.杜仲、天麻等中药材真空冻干超细粉体研制及应用
- 陈德;孙企达
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：国际上冻干技术在材料科学上的应用,主要制备无机粉体与金属粉体.1971年Y.S.Kim&F.R.Monforte用冻干法生产透光氧化铝1988年Londsbergs, Schnettler用冻干法制备成了纳米级(1～500nm)金属超细粉和陶瓷细粉。对杜仲、天麻原始生物酶、蛋白质、氨基酸、维生素、热敏有效成分作了最大限度保留.使这种具有活性的冻干杜仲超细粉的营养价值及药效提高，远优于传统的晒千、热风干燥制备的杜仲、天麻粉。可大大提高药料利用率及有效成分的人体吸收效果.杜仲、天麻真空冷冻超细工艺主要实施方法为真空冷冻干操技术结合姗音速气流低沮粉碎技术，直接将新鲜杜仲、新鲜夭麻制成真空冷冻干操超细粉体。
8.镍铝青铜的熔炼:真空与非真空的对比
- 吕玉廷;王立强;徐小严;吕维洁
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文通过真空和非真空两种方法制备了镍铝青铜合金,对比了两种方法制备的镍铝青铜的显微组织,机械性能以及电化学性能.结果表明:非真空熔炼会造成元素的烧损,烧损最严重的元素为Mn元素,这种成分的差别造成了β马氏体相的增多和κ相的减少.真空熔炼的镍铝青铜具有更好的机械性能,抗拉强度和延伸率分别为718MPa和600MPa, 21％和15.8％.元素的烧损和较多杂质是非真空熔炼镍铝青铜合金机械性能降低的主要原因.真空熔炼比非真空熔炼的镍铝青铜具有更好的耐电化学腐蚀性能.
9.Cu2O颗粒修饰ZnO薄膜的电沉积制备及性能表征
- 江锡顺;张苗;杨蕾;姚广;程云朗;陶佳佳;龚泽洲;何刚;孙兆奇
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：利用两步电沉积技术在ITO基底上制备Cu2O颗粒修饰ZnO纳米棒薄膜,沉积时间分别为0,1,5和10 min.SEM和XRD测试表明样品中由ZnO纳米棒和Cu2O组成.立方结构的Cu2O颗粒镶嵌在ZnO纳米棒空隙中,Cu2O颗粒的数量随沉积时间的延长明显增加,Cu2O特征峰的强度随Cu2O沉积时间延长而增加.紫外可见吸收光谱分析显示ZnO纳米棒对应的带隙从3.22 eV变化到2.75 eV.Cu2O沉积10 min得到的样品降解甲基橙能力最强,经可见光光照100 min后甲基橙浓度降低到原来的15％.
10.反场箍缩实验装置KTX环向场磁体真空压力浸渍工艺及实验研究
- 郑金星;杨庆喜;宋云涛;刘万东;万树德;张平;李宏;毛文哲;尤伟;徐永兴;徐皓;王泳彬
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：KTX反场箍缩装置的主要参数介于RFX装置与MST装置之间.反场箍缩的磁体系统主要由24个纵向场线圈、26个欧姆场场线圈、16个平衡场线圈以及104个鞍型线圈组成,均采用真空压力浸渍工艺设计,由于RFP中的磁面对于外部的特别是等离子体的边界处的径向磁场比较敏感,所以需要环向场磁体的磁场更加精细,这对于线圈的磁场分布、误差场以及波纹度等的设计提出了更高的要求.真空压力浸渍工艺直接影响到磁体的精度和安全性,本文针对KTX装置环向场磁体进行系统的结构设计、电磁分析、真空压力浸渍工艺以及力学和高压实验研究.
11.40T混合磁体中超导线圈的气密性检测
- 陈安飞;韦俊;吴相;方成龙
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：基于超导线圈的使用环境以及对线圈中各个焊缝和整体结构的密封性要求,设计适用于大型超导线圈的气密性检漏平台.为了达到检测密封性的要求,在对线圈检漏时,使用正压法检漏,通过对系统的标定,最终完成大型线圈的密封性检测.
12.基于恒温边界一维非稳态传热模型测固体材料热物性参数
- 陈清华;董长帅;马燕;庞立;刘泽功
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：采用超级恒温水浴结合黄铜板形成恒温边界,通过控制试样尺寸(长、宽尺寸大于8-10倍厚度)结合侧壁面绝热层,保证在试样中产生准均匀一维热流.然后基于恒温边界下的一维非稳态传热模型,利用随机共轭梯度法对固体材料导热系数、比热容进行参数估计反演计算.针对比热容灵敏度系数较低,参数反演估计误差较大的情况,首先估计热扩散率,然后再对比热容估计结果进行修正.建立实验测试装置,对松散煤体进行了热物性测试,理论计算和数值仿真对比分析表明参数估计结果准确可靠.讨论了温度测量误差对估计结果的影响,结果表明,利用随机共轭梯度法进行参数估计,准确性和抗不适定性较好,温度测量标准差达0.6时,仍能保证足够的参数反演精度(相对误差＜10％).最后对玻璃等6种材料进行了热物性测试分析.
13.低温高真空(不锈钢保温杯)无尾焊炉钎的研制
- 高汉牧
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文详细介绍了金华市禾牧真空电子有限公司研制的,用于不锈钢保温杯生产中抽真空封焊工艺的真空专用生产设备的原理、性能、结构、工艺及设备的优点和发展前景.通过对这台高真空钎焊炉的开发研制，对不锈钢保温杯行业的最关键的工艺进行了成功的改革，并提供了能满足此工艺的生产设备，进过几年的生产实践，不断的完善。目前此设备己基本成熟，在行业内迅速得到应用和推广，几年前就已批量投入生产。行业内占使用率的达90%左右，有很高的知名度，产品一直来供不应求。产品产生的社会效益和经济效益都极佳。
14.压力控制式罗茨真空机组
- 王灵恩
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：罗茨真空机组应用领域十分广泛,本文主要介绍了浙江神工真空设备制造有限公司研发的压力控制式罗茨真空机组，配置压力检测和控制系统，实现罗茨真空泵在大气下启动运行。且该压力控制系统可适用于不同的前级真空泵，如滑阀泵、旋片泵、螺杆泵、水环泵、往复泵等。
15.氧等离子体辐照提高纳米Ag/TiO2复合薄膜光降解性能
- 洪流;张冰;张宽翔;廖世云;段红艳;方应翠
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文研究氧等离子体辐照对纳米银/二氧化钛复合薄膜光催化性能的影响.使用真空蒸发镀方法制备不同含量的纳米银/二氧化钛复合薄膜,用射频辉光放电产生的氧等离子体辐照纳米银/二氧化钛复合薄膜,研究辐照时间对样品光催化降解R6G效率的影响.结果表明,氧等离子体辐照能够明显地提高纳米银/二氧化钛复合薄膜紫外和可见光光催化性能.根据SEM、XRD图和XPS谱,分析了氧等离子体辐照后纳米银/二氧化钛复合薄膜光催化效率提高机理.
16.微秒脉冲激光诱导硅表面微结构的研究
- 郑小婵;王德苗
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：分别在SF6和空气环境下,使用波长1064nm的半导体端面泵浦微秒脉冲激光器作为光源扫描辐照单晶硅表面,制备出"黑硅"材料.扫描电子显微镜的测量结果显示在SF6氛围中得到的微结构与空气中的相比,纵横比更大,锥形结构更加完整,表面更光滑,表明背景气体对于表面微结构的形成起着重要作用.通过对比分析不同数量激光脉冲辐照后的硅表面微结构,研究微秒激光辐照下硅表面微结构的演变过程,主要涉及激光诱导周期性表面结构、激光辅助化学刻蚀和再沉积等机制.
17.SVG系列单级三旋片式真空泵的试制
- 王灵恩
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：通过SVG系列真空泵的试制，认为该泵是具有国际水准的旋片真空泵，感到国外的旋片真空泵在设计上并非具有独特性。这也表现在加工工艺上以及对泵的配件和外观等一些细节问题不重视，导致整台泵的水准不高。国内的机械真空泵要赶超国际水平，就要在产品设计上需作进一步改进，做个不同领域，用不同的配置。在外形设计上，即注重人机关系，也注重美观性。还要把握好铸件质量，比如减少砂眼、疏松，这是机械真空泵质量好坏的关键所在。提高加工工艺手段和方法，这一点在真空行业显得尤为重要。类似SVG系列的产品要在普通机床上加工很难达到要求的，须要用加工中心等机床来保证其质量。也要有好的配件，如轴承、轴封等等。好的配件可以避免一些漏油、噪声大等缺陷。更要提高产品的外表油漆质量。
18.热解吸质谱法装置载气出口温度影响因素的研究
- Chen Lei;陈蕾;Xiao Mei;肖梅;Zhang xiaobing;张晓兵
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：质谱分析法是用来分析表面污染物的一种有效方法,热解吸质谱法就是将热解吸脱附进样技术与四极质谱分析技术相互结合.材料表面样品分子解吸脱附的能量主要来源于加热后的气体分子,入射气体分子的温度越高,材料表面样品分子获得能量就越大,材料表面样品分子解吸脱附的几率就越大.因此,载气出口温度的研究具有重要意义.本文分别从理论和实验两个方面对载气出口温度进行了研究,主要讨论了气体的流量、性质等影响因素.从理论计算与实验结果可以看出:对于相同的气体，载气流量越大，出气口温度越高；对于性质不同的气体，当流量相同时，载气出口温度主要与气体的性质即比热容、密度、粘度和导热系数有关。
19.AlxIn1-xN一维纳米材料的制备及成分调变
- 杜玲玉;吴强;胡征
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：Ⅲ族氮化物及其合金具有连续可调的直接带隙,在光电子学领域具有广阔应用前景.三元AlxGa1-xN、InxGavxN一维纳米材料的制备与成分调控已有报道,但AlxIn1-xN的相关研究尚局限于薄膜材料.由于AlN和InN的晶格参数和热稳定性差异很大,AlxIn1-xN一维纳米材料的制备和成分调变是极具挑战性的课题.AlxIn1-xN一维纳米材料的制备中，以AlCl3和InCl3为Al源和In源，以NH3为氮源，在Si(100)基底上沉积得到AlxIn1-xN一维纳米材料。扫描电镜( SEM)表征显示:随InCl3气化温度的升高(AlCl3的气化温度保持不变)，产物的形貌从纳米锥(10-30 nm)变为纳米柱(-300 nm)、纳米“刷”(纳米柱顶端长出纳米锥束)，最后又变为纳米锥形貌.
20.真空镀膜技术的进展
- 王福贞
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文作者在会议上以播放视频片的方式向诸位专家介绍真空镀膜技术的分类、各种真空镀膜技术的发展、真空镀膜产品的应用.材料科学是国家发展的三大支柱之一，薄膜材料更是我国前沿科学和高新技术产品的重要基石。薄膜产品应用范围越来越宽阔，制备薄膜材料的真空镀膜技术得到了迅猛的发展。真空镀膜技术根据膜层粒子来源分类，分为固态物质源和气态物质源，采用热能镀膜的技术有真空蒸发镀膜技术和热化学气相沉积技术;采用等离子体能量的技术有多种的离子镀膜技术、磁控溅射镀膜技术和等离子体化学气相沉积技术。
21.仿N18合金显微组织,拉伸性能和耐腐蚀性能的研究
- 陈靓瑜;张瑶;吕维洁
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：国产N18合金在压水堆中具有良好的表现,本研究基于N18的合金成分为基础,设计Zr-0.5Sn-0.36Nb-0.2Fe-0.05Cu-0.13O,并采用三种不同的工艺处理.对得到的最终样品,用扫描电子显微镜和透射电子显微镜检测其显微组织,未经水淬的样品组织呈等轴晶状,而经过1030℃水淬的样品.在TEM下都观察到片层状组织,而经过800℃水淬的样品则观察到聚集的位错,但不论何种工艺中可以检测到的第二相粒子只有一种.同时还测试了拉伸性能和耐腐蚀性,满足工程实际应用.
22.上海光源2014年度运行总结报告
- 刘以勇;王志山;殷立新;胡晓
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本年度上海光源累积流强从5604A.h上升到6265A.h.在3.5GeV/240mA运行条件下,储存环平均动态真空为2.02×10-10torr.本年度真空系统运行故障总次数8次,较上一年度减少一次.8次故障中影响束流1次.维护情况在寒暑假维护期间，对真空系统进行了维护工作。真空系统的主要备件有光子吸收器、屏蔽波纹管、屏蔽门阀、超高真空计及其规管、离子泵等。目前离子泵和真空计、规管、波纹管备件充足，屏蔽门阀剩一只备件。随着束流流强升高，储存环真空室个别区域温度上升明显，这主要是局部区域使用了单片吸收器导致。在现有布局不做更改的情况下，此现象将长期存在，2015年度将针对此问题提出解决方案，计划上半年提出可行性方案和评审工作，下半年设备加工和验收，2016年寒假进行安装。
23.无机钙钛矿材料制备及其用作染料敏化太阳能电池对电极性能研究
- 钟勇峰;陈鹏;杨波;左学勤;周雷;杨晓;李广
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：用溶胶-凝胶法制备了两种典型的无机钙钛矿材料La0.67Sr0.33MnO3和La0.5Sr0.5CoO3,X射线衍射分析表明这两种材料都具有良好的结晶性能.鉴于它们结构稳定、良好的导电性,并且其中Mn离子和Co离子均具有混合价态等特性,首次尝试将其替代贵金属Pt用作染料敏化太阳能电池对电极.J-V和光电化学特性测试表明,这两种材料都表现出良好的光电转换和光催化性能,可以替代贵金属Pt做染料敏化太阳能电池的对电极.
24.ITER杜瓦地震响应有限元分析方法研究
- 梁超;朱家祥;尹中会;张安宁
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文研究ITER杜瓦类容器对地震载荷响应的有限元分析方法的研究.大尺寸的真空容器在地震载荷作用下,有二种情况:一是强度问题,二是稳定性问题.针对这二个问题,有限元理论有多种实现方法,本文采用了基于地震记录波的时程分析与非线性屈曲分析法,给出了多步载荷输入的方法,并据此对ITER杜瓦进行了相关分析,得到的分析结果对ITER杜瓦的设计具有较直观的帮助与验证.
25.喷雾热解法制备CdS薄膜
- 刘伟;吴琼;张明先;莫晓亮
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文利用化学水浴法(CBD),在大气环境下制备CdS薄膜,研究了薄膜沉积时间对薄膜的结晶性能和光学性能有一定的影响，而且搅拌与否对薄膜的性能也有很大的影响，以及不同衬底的基底晶体结构对CdS薄膜的沉积也有影响。
26.溶胶凝胶法制备具有high-k绝缘层的氧化物薄膜晶体管
- 李喜峰;高娅娜;朱乐永;董盼盼;许云龙;岳致富;张建华
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文采用溶胶凝胶法成功制备了HfO2-ZITO TFT和Al2O3-ZITO TFT.同时对HfO2和Al2O3薄膜的基本特性包括表面性能,结晶性能,介电常数进行了对比.HfO2相较于Al2O3薄膜而言,更容易结晶,表面粗糙度大但相对介电常数大.这导致了以其为绝缘层的TFT器件关态电流较大.但是由于Al2O3薄膜的相对介电常数小导致开态电流稍低.同时,本文也对两种绝缘层进行了详细研究,更有利于TFT器件的工艺研究和开发.
27.减少食品真空冷冻干燥的运行成本的措施
- 孙晓华;陈德
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：真空冷冻干燥是目前一切物品脱水的最好方法,也是所有药品、食品及其它类品的终端加工工艺.在食品工业迅猛发展的今天,真空冷冻干燥已愈来愈多的应用到食品干燥的加工中.它的优越性已充分地让人们所接受.但是食品毕竟不是药品,首先食品的附加值没有药品那么高,再加上冷冻干燥的时间比其它干燥方法来的长,所以运行的成本也就高,这是冻干方法推广最大的瓶颈.正如有的用户反映,冷冻干燥的初始一次性高投资,还承受的起,但是长期使用的高成本承受不了,特别是对一些附加值不是很高的产品.怎样来减少冻干的成本,特别是运行成本(重要一点是缩短时间),是从事冻干行业的人们一直以来所追求的目标.现就长期以来所接触的冻干实际操作方法和积累的经验供大家参考.
28.PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究
- 何梅;冯斌;王德苗;金浩
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag三种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与"丝网印刷银浆再高温烧结"(简称"丝印烧结")金属化工艺进行了比较.研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以Ti/Cu/Ag膜系为最佳,最大抗拉强度达到13.5MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0.7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4,另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准,各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺,具有全过程无污染、生产成本低、可控性强,适合于产业化生产等优点,可以取代丝印烧结工艺.
29.基于ZnO/PI结构的柔性声表面波器件的有限元仿真研究
- 金浩
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：随着微机电系统(MEMS)对柔韧性和弹性日益增加的需求,提出了一种新型的基于ZnO和聚酰亚胺(PI)结构的声表面波器件(SAW).本文中采用了COMSOL软件的二维有限元仿真,得到柔性SAW器件模型在瑞利模式下的振动特性,及不同ZnO厚度对瑞利波的频率和相速度的影响.采用磁控溅射系统和紫外光刻机制备了三组柔性SAW器件,其波长均为16μm,ZnO厚度分别为1.2μm、2.3μm和4μm,并与仿真模型形成对照.结果表明,制备的SAW器件特性与仿真结果具有很好的一致性.
30.应用于短波段的减反射薄膜研究
- 康建;娄朝刚
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：以Si为衬底设计并制备了四层结构的减反射薄膜,分别为TiO2、 YAG∶Ce和两种不同孔隙率的SiO2纳米柱膜层.薄膜在350-1100nm内的平均反射率为13.57％,在500nm以下平均反射率可低至16.6％,明显降低了短波段入射光的反射.
31.纳米结构超硬薄膜的设计及致硬机理研究
- 李伟;刘平;马凤仓;刘新宽;张柯;陈小红;何代华
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本报告结合本课题组在纳米结构超硬薄膜的研究成果，介绍了本课题组近年来在纳米多层膜和纳米复合膜的研究进展，主要分为三部分:第一、晶体/晶体和晶体/非晶体系纳米多层膜的结构设计和获得超硬效应的条件，以及对晶体/晶体系纳米多层膜随某一调质层厚度增加的微结构演变提出新的认识;第二、对Veprek的nc-TiN/a-Si3N;纳米复合膜强化模型进行评述，提出基于共格界面的纳米复合膜强化机制，以及基于界面相掺杂的纳米复合膜新型强化途径;第三、将纳米多层和纳米复合两种结构结合起来，提出两种新型纳米结构薄膜:以纳米复合膜为调质层的纳米多层膜和以纳米多层膜为插入层的纳米复合膜，以及对这两种薄膜微观结构和力学性能的尝试性研究工作。
32.悬浮磨料磁流体射流技术探究
- 谢淮北;张东速;苗思忠;蒋泓;胡雅琳
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：针对磨料射流技术存在的不足，将磁流体推进技术原理与磨料射流技术相结合，提出一种悬浮磨料磁流体射流技术，自制验证装置能使导电流体产生一定的增压效果。该技术尚需解决悬浮磨料磁流体液制备、选择性隔磁或消磁和超导及散热等技术问题，悬浮磨料磁流体液相关参数以及磁场布置等方面的内容仍需进一步研究，通过研究有望形成一种无需利用泵、阀设备即可产生磨料射流的新技术方法。相信随着该项技术的深入研究，一定会给现有的磨料射流技术与装备带来新的变化。
33.一种用于真空室超压保护系统的泄压阀
- 汪震;杨庆喜;宋云涛;徐皓
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：真空室超压保护系统是托卡马克核聚变装置中的重要安全系统之一,其主要功能是在各种意外事故下为真空室提供过压保护,泄压装置是系统中的核心部件,包括爆破片和泄压阀.基于系统的功能要求,本文提出了一种新型的真空泄压阀,主要由主阀体和压力感受器组成,电磁铁提供阀瓣的提升力,压力感受器通过进口压力控制电磁线圈的通断电.首先介绍了真空泄压阀的结构设计和工作原理,然后建立了阀瓣的运动方程,最后利用经验公式和ANSYS两种方式计算电磁力,计算结果证明电磁铁能够满足阀瓣提升的要求.
34.基于GMA的三柱塞式微小泵的建模与仿真
- 寇旗旗;王传礼;邓海顺;骆支宝;魏本柱
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：针对超磁致伸缩材料驱动的微小泵在快速输送流量中出现自吸能力差、流量控制精度级数低的问题,提出一种基于超磁致伸缩驱动器(GMA)的新型三柱塞式高频微小泵,介绍了基于GMA的三柱塞式微小泵的结构设计与工作原理,建立了其数学模型AMESim仿真模型,并优化分析了不同参数对其输出流量和泵腔压力的影响规律.优化后得到的高频微小泵稳态调整时间为1.45ms,单个吸排周期传送液体为0.086ml,最大负压为-27.2KPa,对15号液压油的等效自吸高度可达2.835m,可见,本新型微小泵具有动态响应快,控制精度高,自吸能力强等优越性能.
35.基于神经网络的GMA液压伺服系统研究
- 喻曹丰;王传礼;邓海顺;张辉;黄然
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：在介绍超磁致伸缩转换器(Giant Magnetostrictive Actuator,简写为GMA)的液压伺服系统的基本组成和工作原理的基础上,分析了一种基于神经网络的GMA的液压伺服系统的自适应控制方案,建立了该控制方案的数学模型,同时给出了前向神经网络的结构和权值系数调整算法,并运用MATLAB软件对所建模型进行了仿真,仿真结果很好地验证了理论分析的结果.
36.基于水射流技术回收轮胎胶粉颗粒参数研究
- 苗思忠;谢淮北
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：针对轮胎使用及回收现状及问题,介绍了国内外回收轮胎的方法及高压水射流技术,结合水射流破碎机理,提出了应用于水射流回收轮胎胶粉量方案,实验表明:射流压力在150MPa,靶距l为100 mm,喷嘴直径d为1.5 mm,横移速度f为500mm/min和横向进给量为0.5mm的情况下,胶粉量和胶粉纯度最佳.对进一步拓展回收其他类型轮胎胶粉量具有一定的参考价值.
37.溅射功率对铜铟镓硒薄膜太阳能电池缓冲层InxSy的影响
- Demiao Wang;王德苗;Jingping Lu;陆静苹;Hao Jin;金浩;Jian Zhou;周剑;Yuandong Li;李远东
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：采用射频磁控溅射技术在玻璃上制备InxSy缓冲层,溅射功率范围从30W到100W.通过能量色散X射线光谱仪(EDX)、扫描电子显微镜SEM和紫外分光光度计检测在不同溅射功率条件下制备的InxSy薄膜表面形貌、元素组成和光学特性.结果表明随着功率的增加,InxSy薄膜晶粒尺寸增加,硫元素含量比率增加,,光学禁带宽度先增加后减小.溅射功率为80W时禁带宽度最大为2.75eV,适合高效率InxSy/CIGS太阳能电池.
38.液力传动型滑阀真空泵
- XU Tao;许涛;ZHENG Hui-ping;郑慧萍;LUO Gen-song;罗根松;WANG Gui;王贵
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：本文论述了液力传动的基本概念,对滑阀真空泵使用V型带传动所存在的问题进行了分析,阐明了将液力传动应用在滑阀真空泵上以后,既可以充分利用电机的最大扭矩启动的特点,来改善泵的启动性能,尤其是低温状态下的启动,整个启动过程平稳柔和,可隔离扭振,减缓启动冲击和振动,有效防止机械磨损,延长设备使用寿命;又可以利用它的限矩功能,将泵的能耗控制在一个适当的范围内,降低配套电机的功率,具有显著优异的节能效果.
39.磁控溅射陶瓷金属化技术及其生产线
- 王德苗;金浩;冯斌
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：几乎所有电子元件都要在其表面镀(涂)金属薄膜,以便引出电极,这一工艺称金属化.金属化的质量直接关系到器件的品质、性能与可靠性.国内的金属化一直沿用着丝印-烧结银浆以及等离子喷涂这一落后工艺.国际上,发达国家开始采用先进的磁控溅射技术对敏感陶瓷进行无污染金属化,极大地提升了产品的质量和市场竞争力,这已经成为国际金属化的发展趋势.本技术的电极膜采用了“过渡层+阻挡层+焊接层”的复合膜系结构，过渡层用来匹配金属与陶瓷并产生良好的欧姆接触;阻挡层用来阻挡高温焊料的溶蚀;焊接层用来加强焊接性。整个复合膜的膜厚仅为1微米左右，其性能就可全面优于十几微米烧结银膜的性能，从而大大节省银子的用量、降低了金属化成本，并全面提升了器件的性能与品质，并彻底杜绝了污染。不仅能提供全套溅射金属化的工艺技术，而且研制出大吞吐量的全自动连续式溅射设备，实现了技术与设备的集成输出。
40.电力电容器真浸工艺参数的探讨
- 陆鸣;于智强;陆祖怀
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：由于真浸工艺在电力电容器制造过程中的重要性,因此如何选择最佳工艺参数一直是探索方向.电容器真浸工艺的三个主要因数:温度、真空度和时间，根据这三个因素所选择的不同参数，通过对电容器元件(小样)和单台100千乏电容器在不同温度、不同压强、不同工艺时间条件下进行了正交试验，小结和分析了不同工艺参数与电容器电气性能之间的关系，在满足电容器质量指标的前提下，探讨和推荐了最佳工艺参数。
41.量子点-金纳米颗粒复合结构的光致发光特性的增强
- 黄倩倩;陈静;赵健;潘江勇;雷威
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：在本文中,通过使用具有双极性功能团的疏基乙酸(MPA),在水溶液中合成了ZnCdSeS量子点和金纳米颗粒的复合结构.ZnCdSeS量子点和金颗粒的吸收峰都位于520nm.可以观察到这种复合结构的光致发光强度会随着加入的金颗粒的量以及溶液的pH值而产生影响.通过增强的光致荧光效应我们证明了表面等离子共振(LSPR)液的pH=8.5时,光致荧光增强现象最明显.由于LSPR的影响使得量子点-金颗粒复合结构光致荧光增强的现象可以在生物成像和探测器方面得以应用.
42.近红外下转换的Ce3+、Tb3+、Vb3+共掺Y3Al5O12荧光粉材料研究
- 胡琳;娄朝刚
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：制备了近红外下转换的Ce3+、Tb3+、Yb3+共掺的不同Tb3+离子浓度的Y3Al5O12荧光粉.通过三掺样品与另外三组双掺样品的荧光光谱比较,发现了Ce3+吸收截面宽,Tb3+离子到Yb3+离子能量传递效率高的两个优点,证明了三掺样品的近红外下转换发光效果明显好于其他两种双掺样品.根据不同Tb3+离子掺杂浓度的三掺样品荧光光谱,得出Tb3+离子的最佳掺杂浓度为3％.
43.(TiB+La2O3)/IMI834复合材料流动性研究
- 李九霄;刘统军;王冀恒;黄光法;吕维洁
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：通过钛基复合材料螺旋线流动性实验,探索钛基复合材料的流动停止机理.材料在真空自耗电弧炉中熔炼成母合金锭,在真空自耗电极凝壳炉中进行螺旋线浇铸,采用金相显微镜进行了螺旋线不同部位的组织和增强体观察.复合材料流动性试样的根部组织粗大,具有较大的原始β晶粒和较宽的α片层,试样中部组织变得细小,流动性试样的头部具有最细小的组织.增强体TiB均匀的分布在基体中.增强体的加入使复合材料的凝固结晶范围变宽,钛基复合材料的流动停止机制为金属液中部的等轴晶不断长大,当堵塞区的孔径减小到一定值时,金属液和复合材料等轴晶间的摩擦力使金属液停止流动.
44.低温泵的理论设计与性能测试
- 毛文瑞;王为民;熊鹰
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：低温泵是利用封闭循环制冷机制造低温，并利用低温表面冷凝、吸附和捕集气体来获得和保持真空的设备。由于低温泵极限真空度高、抽速大、清洁、能耗低等一些优点,目前已广泛在各工业领域中.本文简要介绍了低温泵的极限压力、对各种气体的抽气速率、热负荷、最大抽气流量、抽气容量主要性能参数及结构尺寸的理论设计,并根据现有经验对低温泵进行了抽速测试，最大抽气流量测试，抽气容量测试的试验验证.低温泵包括低温和真空两大部分，应综合考虑极限压力、抽速、抽气流量、抽气容量、再生时间、降温时间、材料性能、制冷机功率等方面的要求。
45.PEI/ZnO电子传输层对聚合物太阳能电池性能的影响
- 陆浙;蒋紫曜;陈晓红;孙卓
- 《第九届华东三省一市真空学术交流会》 | 2015年
摘要：比较polyetherimide(PEI)、ZnO和PEL/ZnO电子传输层对基于poly(3-hexylthiophene)(P3 HT):[6,6]-phenyl-C61 butyric acid methyl ester (PCBM)的反转型聚合物太阳能电池性能的影响.PEI的修饰降低了ITO表面的功函数,促进了电子从ZnO向ITO的注入,从而增大器件的开路电压并提高电池的电子传输和提取能力,改善了电池性能.基于PEL/ZnO作为电子传输层的器件效率从ZnO参比器件的3.59％提高到3.79％.