纳米结构超硬薄膜的设计及致硬机理研究

摘要

本报告结合本课题组在纳米结构超硬薄膜的研究成果，介绍了本课题组近年来在纳米多层膜和纳米复合膜的研究进展，主要分为三部分:第一、晶体/晶体和晶体/非晶体系纳米多层膜的结构设计和获得超硬效应的条件，以及对晶体/晶体系纳米多层膜随某一调质层厚度增加的微结构演变提出新的认识;第二、对Veprek的nc-TiN/a-Si3N;纳米复合膜强化模型进行评述，提出基于共格界面的纳米复合膜强化机制，以及基于界面相掺杂的纳米复合膜新型强化途径;第三、将纳米多层和纳米复合两种结构结合起来，提出两种新型纳米结构薄膜:以纳米复合膜为调质层的纳米多层膜和以纳米多层膜为插入层的纳米复合膜，以及对这两种薄膜微观结构和力学性能的尝试性研究工作。