公开/公告号CN104392913B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;
申请/专利号CN201410533019.2
发明设计人 田雪雁;
申请日2014-10-10
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人柴亮
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2022-08-23 10:04:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-22
授权
授权
2015-04-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20141010
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
机译: 准分子激光退火装置,多晶硅薄膜晶体管器件的制造以及液晶显示器的制造
机译: 利用准分子激光退火制造多晶硅薄膜晶体管的方法
机译: 利用准分子激光退火制造多晶硅薄膜晶体管的方法