一种扫描电子显微镜原位检测装置及扫描电子显微镜系统

摘要

本发明公开了一种扫描电子显微镜原位检测装置及扫描电子显微镜系统，包括：底座；Y轴移动平台，Y轴移动平台设置在底座上；X轴移动平台，X轴移动平台设置在Y轴移动平台上，并在Y轴移动平台上移动；样品放置区，样品放置区设置在X轴移动平台的顶端；Z轴移动平台，Z轴移动平台设置在底座上，并相对于底座作上升或下降运动；悬臂，悬臂设置在Z轴移动平台的顶端的近样品放置区端；X轴移动平台、Y轴移动平台及Z轴移动平台中均设置有压电素子控制部件；压电素子控制部件中包括伸长量与电场强度平方成正比的压电陶瓷。本发明实现了对材料的由纳米尺度到厘米尺度的动态原位观测，又可以同时对其物理性能进行测试。