衬底输送机器人和使用该衬底输送机器人的衬底处理设备

摘要

本发明涉及一种衬底输送机器人和用该衬底输送机器人的衬底处理设备，该衬底处理设备可包括：真空锁腔室，从外部输送的衬底布置在真空锁腔室中，并且真空锁腔室的内部状态变为真空状态和大气压力状态；衬底处理模块，在衬底处理模块中对衬底执行处理；输送室，衬底在该输送室中被输送，输送室布置在真空锁腔室和衬底处理模块之间；和衬底输送机器人，该衬底输送机器人安装在输送室内并输送衬底。