一种自动量程的MEMS电容式传感器

摘要

本发明公开了一种自动量程的MEMS电容式传感器，包括MEMS电容敏感模块、电容/电压转换模块、A/D模块和微处理器；MEMS电容敏感模块是由敏感可动结构和固定结构构成的电容；敏感可动结构敏感检测待测物理量产生的机械形变；电容/电压转换模块将电容变化量转换为电压信号；A/D模块采样电压信号后输出给微处理器。通过调节电容两端的直流偏置电压差值，可以调节敏感元件放大倍数，进而实现调节传感器量程到设定范围内。本发明可以扩大MEMS电容式传感器检测量程，尤其对于微弱待测量，可以提高传感器信噪比，增大微弱信号的检测精度。