各向异性腐蚀硅片的改进方法与硅片腐蚀溶液

摘要

一种各向异性腐蚀(100)硅片晶面的改进方法，它包括将其硅晶片浸渍在腐蚀溶液中，其腐蚀溶液含有一种芳族化合物，该芳族化合物苯环上具有至少两个相临的羟基和一个极性官能团，一种胺和水。达到了高质量的腐蚀，其速率高得多。