肼对硅片的各向异性腐蚀技术研究

摘要

采用肼水溶液在各种条件下对硅片进行腐蚀,通过分析与腐蚀速率有关的因素，即改变腐蚀溶液温度和肼的质量分数，来提高腐蚀速率。整个实验过程实质就是寻求最佳腐蚀工艺条件，从而提高硅片的表面质量。