增强型边缘聚焦工具及利用该工具的聚焦方法

摘要

本发明涉及一种增强型边缘聚焦工具及利用该工具的聚焦方法。该方法是用于操作边缘聚焦工具以接近邻近倾斜表面特征的边缘聚焦机器视觉检测系统的光学器件的方法。所述方法包括在机器视觉检测系统的视场中定义包括边缘的感兴趣区域（ROI）；在包括边缘的Z范围上获取ROI的图像栈；基于为多个点确定最好的聚焦Z高度测量，为ROI中的多个点产生包括Z高度的点云；定义所述点云的最近的子集，所述点云包括接近倾斜表面特征的点并且对应于倾斜表面特征的形状；定义所述点云的最近的子集的Z极值子集；以及在对应于Z极值子集的Z高度聚焦光学器件。