基于Al‑N共掺的ZnO金属陶瓷薄膜P型转化设计方法

摘要

本发明公开一种基于Al‑N共掺的ZnO金属陶瓷薄膜P型转化设计方法，N为介质材料，Al为掺杂金属，取Al与N的掺杂比例q=x:y，x、y分别为Al、N的原子个数；计算q=0:0的能带结构并绘制能带结构图，判断未实现P型转化；改变掺杂比例q，分别增大x与y的值，使x与y相等或差值为1；每改变一次q值都要计算改变后的该q值对应的能带结构并绘制对应的能带结构图；当按次取掺杂比例时，从此次的能带结构图上判断费米能级是否进入价带，如果进入价带，则此次取的掺杂比例为最佳掺杂比例，输出该最佳掺杂比例；如果没有进入价带，则未实现P型转化，继续依次改变掺杂比例直至得到最佳掺杂比例为止；本发明提高了ZnO金属陶瓷薄膜P型转化效果。