一种加速度计中的Z轴结构及三轴加速度计

摘要

本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构及三轴加速度计，包括位于X轴方向上的第一弹性梁以及位于Y轴方向上的第二弹性梁，其中，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块，所述第一弹性梁偏离质量块X轴方向的中线；还包括将质量块连接起来的横梁、纵梁；还设置有连接两条横梁的加强梁，其中，两个惯性测量模块中的第二弹性梁相对于加强梁对称分布。本发明的三轴加速度计，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低在质量块在X轴、Y轴上的位移量，从而提高了电容检测的精度。