公开/公告号CN104170058B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-08
原文格式PDF
申请/专利权人 阿科恩科技公司;
申请/专利号CN201280063330.4
申请日2012-10-18
分类号H01L21/20(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;吴启超
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:59:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-08
授权
授权
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/20 申请日:20121018
实质审查的生效
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/20 申请日:20121018
实质审查的生效
2014-11-26
公开
公开
2014-11-26
公开
公开
机译: 通过插入界面原子单层与IV组半导体的金属接触
机译: 通过插入界面原子单层与IV组半导体的金属接触
机译: 通过插入界面原子单层与IV组半导体的金属接触