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Kinetic modeling of the atomic layer epitaxy window in group IV semiconductor growth

机译：IV族半导体生长中原子层外延窗的动力学建模

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作者
Eres, G.;
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年度 1995
页码 1-3
总页数 3
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工业技术;
关键词
Semiconductor Materials ; Crystal Growth ; Epitaxy ; Kinetic Equations ; Mathematical Models ; Thin Films;

机译：半导体材料;晶体生长;外延;动力学方程;数学模型;薄膜;

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